风囊泵可用于制造半导体、光伏太阳能电池、发光二级管(LED)、平板显示器和电子产品。 不含金属、橡胶O型圈、叶轮或电动机...

用途①药液供给系统 CDS (Chemical Distribution System )②晶圆湿制程设备 (Wet B...

泵体与液体接触部分全部由超纯氟材料制成，耐化学腐蚀特性强，金属离子与颗粒等污染物析出量非常低。

用途①半导体 CMP 设备添加葯液,后段封装 CMP 清洗,将清洁液体(超纯水.去光阻液)加压经喷嘴雾化喷至晶圆特点②气...